今天是2022年5月28日 星期六,欢迎光临本站 合肥康帕因设备技术有限公司 网址: www.hfcpi.com

专注于材料研究领域

材料制备、真空获得与检测领域专家

最新产品

管式快速退火炉系统 LFT1200C 900D150IIIHSF-3ZLV

文字:[大][中][小] 2022-1-19    浏览次数:251    

序号

一、加热炉部分

1

炉膛模式

前后移动开启式炉膛(三个工艺炉膛)

2

显示模式

10 英寸触摸屏

3

加热元件

短红外波灯管,上下水平面独立加热

4

工作温度

≤750℃

5

升温速率

≥15℃/s(空炉)

6

样品移动

有,速度可调

7

温区长度

200mm(恒温区 100*100mm)

8

温度均匀性

≤±2℃

9

工艺位温降

≤30℃

10

快速降温

≥3℃/S(空炉)

11

炉管规格  

Φ150*1200 mm

12

控温精度

 ±1℃

13

密封方式

快速法兰密封

14

仪表补偿

室温自动补偿

15

温度曲线

30 段"时间—温度曲线"任意可设

16

外壳温度

≤40℃(室温≤25℃)

17

超温报警

18

过流保护

19

断偶提示

20

测温元件

K 型铠装热电偶(Omega)

21

炉膛材料

氧化铝纤维

22

外形尺寸  

1450*700*1000MM长*宽*高

23

整机功率

单个温区 12kw,共计 36KW

24

电源参数

380V 50Hz

二、传动机构

1

样品移动

伺服电机驱动刚玉推杆带动基板移动

2

运行轨道

钼轨道

3

推杆速度  

可调

4

导轨水平度

≤1mm/m

5

推杆定位误差

≤1mm

6

防撞措施  

超力矩推不动,急停按钮

7

蒸发距离

样品下平面和坩埚上平面间距≦2mm,可根据需要调节

8

速度误差  

≤1%

三、真空与气氛

1

抽真空能力

大气到≤5Pa 小于 15min(空炉)

2

气压范围  

10 -3Pa~10 5Pa,机械泵极限≤5Pa

3

泄漏率

≤5 -4(Pa*m 3/s)

4

真空计范围

大气到 10 -5Pa,最大分辨率 0.01Pa

四、气路系统

1

3 路进气

2

2L 不锈钢混合罐(带指针式压力表)

3

质量流量计每路量程 1sccm-300sccm,流量计灵敏度 1sccm

4

超压保护(≥1atm),根据设定压力值自动排气

五、控制系统

1

半自动运行  

手动按钮,电动运行

2

全自动运行

显示整个工艺流程且一键操作

3

温度数据存储

可存储大于 3 个月的数据

4

数据导出

U 盘导出 excel 或 csv 格式,预留 PLC 接口

5

工艺曲线

设备端触摸屏显示实时曲线

返回上一步
打印此页
[向上]

网站首页

产品中心

公司介绍

资讯动态

联系我们

在线询单

在线客服

售前咨询

售前咨询

技术支持

售后服务

咨询电话:
0551-65128841

请扫描二维码
打开手机站