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2通道质量流量控制系统MFC-2Z

文字:[大][中][小] 2019-1-30    浏览次数:458    
 

2通道质量流量控制系统MFC-2Z

设备描述:

MFC-5Z是一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜最大可以承重1000Lbs,所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将设备置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一个7"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。

技术参数

名称

双通道

三通道

四通道

五通道

质量流量控制器

工作温度:5~45ºC
最大压力:3x106 Pa
精度±1.5% FS
线性:±(0.5-1.5%F.S

重复精度±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度:5~45 ºC
最大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±(0.5-1.5%F.S
重复精度:±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度:5~45 ºC
最大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±(0.5-1.5%F.S.

重复精度±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度: 5~45 ºC
最大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±(0.5-1.5%F.S.
重复精度±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
-九路可按照客户要求定制

输入电源

        AC 220V/50Hz单相

功率

        23W

PLC触摸屏

·  各通道的气路设定和查看都集中在一个7"的触摸屏上 

· RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制

  

机械压力表

·  有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接

·   量程:-0.1~0.15 MPa 

针阀

316 不锈钢

通气管道

·  内部连接管道为Φ不锈钢管 

·  外部通气管道为Φ聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

·316不锈钢针阀 

 Φ6mm 不锈钢管

外形尺寸

 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

质量认证

CE认证

质保期

一年质保期,终身维护

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